


3月24日下午,“迈纳德——东华大学理学院联合实验室”在2号学院楼454会议室举行揭牌仪式。出席仪式的领导和专家有:无锡新区党工委副书记、空港产业园区党工委书记、管委会主任李建秋,无锡空港产业园管委会副主任汪群峰,空港经济发展与招商服务处副处长金荣权,空港530企业——迈纳德微纳技术有限公司总经理陆雪强;东华大学科研处处长季诚昌教授,理学院党总支书记陈小立教授,常务副院长张菁教授,东华大学教育部磁约束核聚变研究中心主任钟方川教授、副主任石建军教授、物理系主任王春瑞教授,科研处郭立民老师。出席揭牌仪式还有无锡迈纳德微纳技术有限公司的多位中层领导、技术骨干和我校理学院的教师代表等。联合实验室的揭牌仪式在简单而隆重的气氛中举行,陈小立书记、李健秋主任、陆雪强总经理先后致辞,李健秋主任和季诚昌处长为联合实验室揭牌,张菁教授主持了揭牌仪式。

与会人员合影留念

迈纳德微纳技术有限公司陆雪强总经理为石建军教授颁发了“高级技术顾问”聘书
揭牌仪式之后,全体与会人员参观了东华大学教育部磁约束核聚变研究中心与低温等离子体物理实验室。
联合实验室将借助无锡迈纳德微纳技术有限公司的优势技术资源和产业化基础,充分发挥东华大学理学院在低温等离子体研究方面的人才资源与科研优势,在迈纳德公司提供的原子层沉积(Atomic Layer Deposition: ALD)设备基础上,联合进行脉冲等离子体增强型ALD技术的研究与开发,将研究成果积极转化到实际应用中,促进高校与企业间的“产、学、研”合作。
原子层沉积是国外近几年发展起来的一种广泛用于超薄绝缘层沉积和纳米镀层的一种新颖沉积技术,在每个沉积过程中,可以控制在一个原子或分子层的厚度。脉冲等离子体在ALD中的应用可以提高沉积的效率,是目前ALD沉积技术中研究热点之一。